産品時間：2025-12-01
微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(ti)流量計是廣州(zhōu)迪川儀器儀表(biǎo)🐇有限公司專門(mén)爲各類小流量(liàng)氣體的測量和(he)過程控制而設(shè)計的。這一系💘列(liè)傳感器均采用(yòng)本公司🔴自主研(yan)發的微機電系(xì)📱統（MEMS）流量傳感芯(xīn)片來制作，适💞用(yòng)于各類🔅清潔氣(qì)體🔴。*的封裝技術(shù)使之可用于各(ge)類管徑，成本低(dī)、易安裝、不需要(yao)溫度壓力補償(chang)，可替代容積式(shì)或壓差式的傳(chuan)統流量💋傳感器(qi)。
微小氣體流量(liàng)計,MF4001氣體流量計(jì)
産品簡介(jie)：
FS4001系列小流(liú)量氣體質量流(liu)量傳感器是廣(guǎng)州迪川儀器♊儀(yí)♌表有限公司專(zhuan)門爲各類小流(liu)量氣體的測量(liàng)和過程控🙇🏻制而(er)設計的。這💋一系(xì)列傳感器均采(cǎi)用本公司自主(zhu)研發的微機電(dian)系統💃🏻（
MEMS
産(chan)品特點：
微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(ti)流量計
- 傳(chuán)感器靈敏度高(gao)
,有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯片采(cǎi)用熱質量流量(liang)計量
,無需(xū)溫度壓力補償(chang)
,保證了傳(chuan)
- 感器的高(gāo)精度計量
- 在單個芯片上(shang)實現了多傳感(gan)器集成
,使(shǐ)傳感器的量程(chéng)比大大提高
- 傳感器的零(líng)點穩定度高
-
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- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數：
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性能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
mm |
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zui大(da)流量 |
500, 1000 |
SLPM |
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2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
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重複性(xing) |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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%/oC |
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mses |
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8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) |
線性， RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc |
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350 |
300 |
pa |
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zui大工作壓力(lì) |
MPa |
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工作溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度(dù) |
<95%RH（無結冰、無(wú)凝露） |
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校準方式 |
20oC， 101.325kPa |
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15 |
g |
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訂貨(huò)詳情請： 85628522
