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微小(xiao)氣體流量計FS4001

産品(pǐn)時間：2025-12-01

簡要描述：

微(wei)小氣體流量計FS4001專(zhuan)門爲各類小流量(liang)氣體的測量⁉️和過(guò)程控制🚩而設計的(de)。這一系列傳感器(qi)均采用本公司自(zì)主研發的微🍉機電(dian)系統（MEMS）流量傳感芯(xin)片來制🌍作，适用☎️于(yú)各類清潔氣體。*的(de)封裝技術使之可(kě)用于各類管徑，成(chéng)本低、易㊙️安裝、不需(xu)📐要溫度壓力補償(chang)，可替代容積式或(huò)壓差式的傳統流(liu)量傳感器。

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詳細(xi)介紹

微小氣體流(liú)量計FS4001 産品簡(jiǎn)介：
FS4001 系列小流(liú)量氣體質量流量(liàng)傳感器是廣州迪(di)川儀器儀表有限(xian)公司專門爲各類(lei)小流量氣體的測(cè)量和過程控制而(er)設計的。這一系列(lie)傳感器均采用本(ben)公司自👌主研發🔴的(de)微機🏃‍♀️電系統（ MEMS ）流量傳感芯片來(lái)制作，适用于各類(lèi)清潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使📱之可用于(yú)各類管徑，成本低(dī)、易安裝、不需要溫(wen)度壓⛷️力補償，可替(ti)代容積式或壓差(cha)式的傳統流量傳(chuan)感器。
微小氣體流(liu)量計FS4001 産品特(tè)點：
- 傳感器靈(líng)敏度高 , 有極(ji)小的始動流量
- 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量計(ji)量 , 無需溫度(du)壓力補償 , 保(bǎo)證了傳
- 感器(qì)的高精度計量
- 在單個芯片上(shang)實現了多傳感器(qi)集成 , 使傳感(gan)器的量程比大大(da)提高
- 傳感器(qì)的零點穩定度高(gāo)
- 全量程高穩(wen)定性
- 全量程(cheng)高精度和優良的(de)重複性
- 低功(gōng)耗
- 低壓損
- 響應時間快
主(zhǔ)要參數： FS4001系列微小(xiao)流量計

性能(néng)參數	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(chéng)比	2132132132131231312100:1
精度(dù)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		% 讀數
零點輸(shu)出飄移	±30		mV
輸出(chū)飄移	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuán)	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性， RS232/ 模拟(ni)電壓 0.5~4.5Vdc
大流量(liang)壓損	350	300	pa
大工作(zuò)壓力	0.5		MPa
工作溫(wen)度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH （無結冰、無凝露(lu)）
機械接口	可拆式軟管接(jiē)頭
校準方式(shì)	空氣（或其他(ta)氣體）， 20oC ， 101.325kPa
重(zhòng)量	15		g

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