氣體檢(jiǎn)測/測漏(lou)流量計(ji)

産品時(shí)間：2025-12-01

簡要(yao)描述：

氣(qì)體檢測(ce)/測漏流(liu)量計傳(chuan)感器靈(ling)敏度高(gao),有極小(xiǎo)的🚶‍♀️始動(dòng)流量
- 傳(chuán)感器芯(xīn)片采用(yòng)熱質量(liàng)流量計(ji)量,無需(xū)溫度壓(yā)力😍補償(cháng)🛀🏻,保☂️證了(le)傳
- 感器(qì)的高精(jing)度計量(liàng)
- 在單個(ge)芯片上(shàng)實現了(le)多傳感(gan)器集成(cheng),使傳感(gǎn)器的量(liàng)程比大(da)大♋提高(gao)
- 傳感器(qi)的零點(dian)穩定度(dù)高全量(liàng)程高穩(wěn)定性

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詳細(xi)介紹

産(chǎn)品簡介(jie)：
FS4001系列小(xiǎo)流量氣(qì)體質量(liang)流量傳(chuan)感器是(shi)專門爲(wei)各類小(xiao)流量氣(qì)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yi)系列傳(chuán)感器均(jun)采用本(ben)公司自(zì)主研發(fā)的微機(jī)電系統(tong)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(piàn)來制作(zuo)，适用于(yú)各類清(qīng)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuāng)技術使(shi)之可用(yòng)于各類(lèi)管徑，成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需要溫(wen)度壓力(li)補償，可(kě)替代容(róng)積式或(huo)壓差式(shì)的傳統(tong)🧡流量傳(chuan)感器。

氣(qì)體檢測(ce)/測漏流(liu)量計産(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器(qi)靈敏度(dù)高,有極(ji)小的始(shǐ)動流量(liàng)
- 傳感器(qi)芯片采(cǎi)用熱質(zhì)量流量(liang)計量,無(wú)需溫度(du)壓力補(bu)償,保證(zheng)🤟了傳
- 感(gan)器的高(gao)精度計(jì)量
- 在單(dan)個芯片(pian)上實現(xiàn)了多傳(chuán)感器集(jí)成,使傳(chuan)感器的(de)量程😄比(bi)大大👄提(ti)高
- 傳感(gan)器的零(líng)點穩定(dìng)度高
- 全(quan)量程高(gāo)穩定性(xìng)
- 全量程(cheng)高精确(què)度和優(yōu)良的重(zhong)複性
- 低(di)功耗
- 低(di)壓損
- 響(xiang)應時間(jiān)快

主要(yào)參數：

性(xìng)能參數(shu)	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
zui大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	2132132132131231312100:1
精度(du)	±（1.5+0.2FS）		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零(líng)點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuò)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式(shì)	線性，RS232/模(mó)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
zui大流量(liang)壓損	350	300	pa
zui大(da)工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cun)儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jié)冰、無凝(ning)露）
機械(xie)接口	可(ke)拆式軟(ruan)管接頭(tou)
校準方(fāng)式	空氣(qi)（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g