FS4001系(xi)列小流(liu)量氣體(tǐ)質量流(liú)量傳感(gan)器

産品(pǐn)時間：2025-12-01

簡(jiǎn)要描述(shu)：

FS4001系列小(xiǎo)流量氣(qì)體質量(liàng)流量傳(chuán)感器是(shi)專門爲(wei)各類小(xiǎo)💋流量氣(qi)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yi)系列傳(chuán)感器🆚均(jun)采😍用本(ben)公司自(zi)主研發(fa)的微機(ji)電系統(tong)（MEMS）流量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuò)㊙️，适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yong)于各類(lei)管徑，成(cheng)本低、易(yi)安裝、不(bú)需要溫(wen)度壓力(lì)補償，可(kě)替代容(rong)積式或(huò)壓差式(shì)的傳統(tong)流量傳(chuán)感器。

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詳細(xi)介紹

産(chǎn)品簡介(jiè)：

FS4001系列小(xiao)流量氣(qi)體質量(liang)流量傳(chuan)感器 是(shì)專門爲(wei)各類小(xiǎo)流量氣(qì)體的測(cè)量和過(guo)程控制(zhì)而設計(ji)的。這一(yī)系列傳(chuán)感器均(jun)采用本(ben)公司自(zi)主研發(fa)的微機(ji)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳(chuán)感芯片(pian)來制作(zuo)，适用于(yu)各類清(qing)潔氣體(ti)。*的封裝(zhuāng)技術使(shǐ)之可用(yong)于各類(lei)管徑，成(chéng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需要溫(wēn)💯度壓力(lì)補償，可(ke)替代容(rong)積式或(huò)壓差式(shì)的傳統(tong)流量傳(chuan)感器。

産(chan)品特點(diǎn) ：

FS4001系(xi)列小流(liu)量氣體(ti)質量流(liú)量傳感(gan)器 靈敏(mǐn)度高,有(yǒu)小的始(shǐ)動流量(liàng)傳感器(qì)芯片采(cai)用熱質(zhì)量💃流量(liang)計📧量🈲,無(wu)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償,保證(zhèng)了傳感(gǎn)器的高(gāo)精度計(jì)量在單(dān)個芯片(pian)上實現(xiàn)了多傳(chuan)感器集(ji)成,使傳(chuán)感器的(de)量💞程比(bi)大大提(ti)高傳感(gan)器的零(líng)點穩定(dìng)度高全(quán)量🔞程高(gao)穩定性(xing)全量程(cheng)🈲高精确(que)度和優(you)良的重(zhong)複性低(dī)功耗低(di)壓損響(xiǎng)應時間(jian)快
主要(yao)參數：

性(xìng)能參數(shù)	FS4001		單位
通(tōng) 徑	1.0	1.8	mm
大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程(cheng)比	≥100:1
精度(du)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零(líng)點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸(shu)出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式(shi)	線性，RS232/模(mo)拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
大流量(liang)壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝(níng)露）
機械(xie)接口	可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tóu)
校準方(fang)式	空氣(qì)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g