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氣體流量監測傳(chuan)感器

産品時間:2025-12-01

簡(jian)要描述:

FS4001系列氣體(ti)流量監測傳感器(qi)适用于各類清潔(jié)氣體。*的封裝技術(shu)使之可用于各類(lei)管徑,成本低、易安(an)裝、不需💁要溫度壓(ya)❤️力補🌈償,可👨‍❤️‍👨替代容(rong)積式或壓差式的(de)傳統流量傳感器(qi)。

産品(pin)簡介:

FS4001系列 氣體流(liú)量監測傳感器 是專門爲各類(lei)小流量氣體的測(ce)量和過程控制而(er)設計的。這一系列(liè)傳感器均采用本(ben)公司自主研發的(de)微✂️機電系統( MEMS )流量傳感芯片來(lai)制作。

FS4001系列 氣體流(liú)量監測傳感器 适用于各類清(qing)潔氣體。*的封裝技(ji)術使之可用于各(gè)類管徑,成本低、易(yi)安裝、不需要溫度(du)壓力補償,可替代(dài)容積式或壓差式(shi)的傳統流量傳感(gǎn)器。


産品(pǐn)特點:
  - 傳感器(qì)靈敏度高 , 有(you)極小的始動流量(liang)
  - 傳感器芯片(piàn)采用熱質量流量(liàng)計量 , 無需溫(wen)度壓力補償 , 保證了傳
  - 感(gǎn)器的高精度計量(liang)
  - 在單個芯片(pian)上實現了多傳感(gan)器集成 , 使傳(chuan)感器的量程比大(dà)大提高
  - 傳感(gan)器的零點穩定度(du)高
  - 全量程高(gao)穩定性
  - 全量(liàng)程高精确度和優(you)良的重複性
  - 低功耗
  - 低壓(yā)損
  - 響應時間(jian)快

機械尺寸(cun):


主要參(cān)數:

性能參數

FS4001

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

精 度

%

重複性

0.25

%讀(du)數

零點輸出飄移(yí)

±30

mV

輸出飄移

±0.12

%/oC

響應時(shí)間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

輸出(chu)方式

線性,RS232/模拟電(dian)壓0.5~4.5Vdc

350

300

pa

大(da)工作壓力

0.5

MPa

-20 ~ +65

oC

工作(zuò)濕度

<95%RH(無結冰、無凝(níng)露)

 

機械接口

可拆(chāi)式軟管接頭

 

校準(zhun)方式

空氣(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa

 

重量

g

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