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FS4001系列實驗(yàn)室氣體流量傳感(gǎn)器

詳細介紹

産品(pin)簡介：

FS4001系列實驗室(shì)氣體流量傳感器(qì) 是專門爲各(ge)類小流量氣體的(de)測量和過程控制(zhì)而設計的。這一系(xì)列傳感器均采用(yong)本公司自主研發(fa)🐉的微機電系統（ MEMS ）流量傳感芯片(piàn)來制作。

FS4001系列實驗(yan)室氣體流量傳感(gan)器 适用于各(ge)類清潔氣體。*的封(fēng)裝技術使之可用(yong)于各類管徑，成本(ben)低、易安裝、不需要(yào)溫度壓力補償，可(ke)替代容積式或壓(yā)🐕差式的傳統流量(liàng)傳感器。

産品特點：
- 傳(chuan)感器靈敏度高 , 有極小的始動(dong)流量
- 傳感器(qì)芯片采用熱質量(liàng)流量計量 , 無(wú)需溫度壓力補償(cháng) , 保證了傳
- 感器的高精度(dù)計量
- 在單個(ge)芯片上實現了多(duo)傳感器集成 , 使傳感器的量程(chéng)比大大提高
- 傳感器的零點穩(wen)定度高
- 全量(liàng)程高穩定性
- 全量程高精确度(du)和優良的重複性(xìng)
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時間快

機械(xiè)尺寸：

主(zhu)要參數：

性能參數(shu)	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
大流量(liang)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複(fú)性	0.25		%讀數
零點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響(xiang)應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuan)	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性，RS232/模(mo)拟電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓(ya)損	350	300	pa
大工作壓力	0.5		MPa
工(gōng)作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結冰(bīng)、無凝露）
機械接口(kou)	可拆式軟管接頭(tou)
校準方式	空氣（或(huò)其他氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g

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