産(chan)品時間:2025-12-01
FS4001系列測量氣體流(liu)量傳感器是專門(men)爲各類小流量氣(qì)體的測量和過程(cheng)控制而設計的。這(zhè)一系列傳感器均(jun)采用本公司自☔主(zhǔ)研發的微機電系(xi)統(MEMS)流量傳感芯片(piàn)來制作,适用于各(ge)類清潔氣體。
簡介:
FS4001系列(lie)測量氣體流量傳(chuán)感器 是專門(mén)爲各類小流量氣(qì)體的測量和過程(cheng)控制而設❌計的。這(zhè)一系列傳感器均(jun)采用本公司自主(zhǔ)研發的微機電系(xì)統( MEMS )流量傳感(gan)芯片來制作。
FS4001系列(liè)測量氣體流量傳(chuan)感器 适用于(yú)各類清潔氣體。*的(de)封裝技術使之可(kě)用于各類管徑,成(cheng)♌本低、易安裝、不需(xū)要溫度壓力補償(chang),可替代容🏒積式或(huo)壓差式的傳統流(liú)量傳感器。
産品特點:
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傳感器靈敏度高(gāo)
,
有極小的始(shǐ)動流量
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傳感(gǎn)器芯片采用熱質(zhi)量流量計量
,
無需溫度壓力補(bǔ)償
,
保證了傳(chuan)
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感器的高精(jīng)度計量
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在單(dān)個芯片上實現了(le)多傳感器集成
,
使傳感器的量(liang)程比大大提高
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傳感器的零點(dian)穩定度高
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全(quán)量程高穩定性
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全量程高精确(que)度和優良的重複(fu)性
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低功耗
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低壓損
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響(xiǎng)應時間快
主(zhǔ)要參數:
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性能參數(shu) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量(liàng) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比 |
>100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重複(fu)性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiǎng)應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源(yuan) |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性,RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(ya)損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工(gong)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH(無結冰(bing)、無凝露) |
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機械接口(kou) |
可拆式軟管接頭(tou) |
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校準方式 |
空氣(或(huò)其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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