流(liú)量測量技(ji)術之 微小流量(liàng) 的測(cè)量     
半(ban)導體制造(zào)業、生物工(gong)程、精細化(hua)工等的興(xing)起，使流量(liang)測量向低(dī)👉端延伸，小(xiao)流量計流(liu)量的要求(qiú)在上世紀(jì) 80 ∽ 90 年代凸顯(xian)起來。何謂(wèi)小流量 ? 業界尚(shang)無*的定義(yì)和界限，小(xiao)流量因應(yīng)用領域而(er)異⭐是🧑🏽‍🤝‍🧑🏻一個(gè)模糊的概(gài)念。管道小(xiǎo)流量測量(liang)體現于管(guǎn)徑📱小和🙇🏻流(liú)速低兩個(ge)層次，就流(liú)程工業而(ér)言，習慣上(shang) DN10 甚至(zhi) DN15 以下(xia)管徑流量(liang)測量稱之(zhī)小流量測(ce)量，通常其(qi)流量值液(yè)體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以(yi)下，流量儀(yí)表滿度流(liu)量時的流(liú)速低于 0.1m/s 。
1 、測(cè)量方法
傳統小(xiǎo)流量測量(liàng)技術節流(liú)差壓 ( 層流 ) 法、浮子法(fa)和容積法(fǎ)等有了的(de)改進，新測(ce)量技術如(rú)超聲法、熱(re)法、科裏奧(ào)利法等也(ye)有成效地(dì)應于液體(tǐ)和氣體小(xiǎo)流量測量(liàng)。
2 、特點(diǎn)
微小(xiao)流量與一(yi)般流量測(cè)量相比較(jiào)，具有以下(xià)特點。
1) 雷諾數低(di)
一般(ban)管道流動(dong)均爲紊流(liu)流動，流量(liàng)儀表也是(shi)針對紊流(liu)流動⚽态設(shè)計的，而小(xiao)流量儀表(biao)因管徑小(xiao)常處于層(céng)流流動 ( 例如管(guan)内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊流(liú)過渡區流(liu)态流動，小(xiao)流量測量(liang)受使用中(zhōng)流體黏度(dù)變化影響(xiǎng)頗大。
2) 要用實際(jì)使用流體(tǐ)校準
液體流量(liang)儀表一般(ban)用水校準(zhǔn)，氣體用空(kong)氣校準。若(ruo)知道實際(ji)測量流體(ti)與校準流(liú)體間某些(xie)物性不同(tóng)對示值有(yǒu)規律變化(huà)時，中♍大管(guan)徑流量儀(yi)表常以适(shì)當系數🆚修(xiu)正。但有些(xiē)小流量儀(yí)表受黏度(dù)等流體物(wù)性影響大(da)，須以實際(ji)使用流體(tǐ)💋校準。所幸(xing)流量小，用(yong)⛷️實際使用(yong)流體校準(zhun)難度不大(da)，但在作有(you)害性流體(tǐ)💜校準時應(ying)注意☁️安全(quán)和環境污(wū)✏️染。
3) 要(yao)求測量時(shi)防止污染(rǎn)流體
若測量潔(jié)淨氣體和(hé)純水常不(bu)允許接觸(chu)流體的儀(yi)表零件材(cái)料析出離(li)子，例如半(ban)導體制備(bèi)中儀表不(bú)能用金屬(shu)和玻璃制(zhi)成，隻🌈能用(yòng)塑料。流體(ti)中也不允(yǔn)許混入活(huo)動件的磨(mo)蝕🌈塵粒。流(liú)量儀表流(liu)通通道要(yào)盡可能簡(jiǎn)單，不應有(yǒu)潴留 ( 指液體在(zai)體内不正(zhèng)常地聚集(ji)停留 ) 部位，防止(zhi)潴留介質(zhi)變質。
4) 氣泡和塵(chén)埃附着的(de)影響
因管徑小(xiǎo)黏性增加(jia)，液體中微(wei)細氣泡易(yi)在管系流(liú)動過❌程中(zhōng)積📞聚變大(da)，使測量時(shí)指示不穩(wěn)，度下降。流(liu)體中塵埃(ai)附着測量(liang)元件也要(yao)影響測量(liàng)值，例如浮(fu)子流量計(jì)的浮子上(shang)沉積有肉(rou)眼覺察不(bu)出的附着(zhe)層也會影(ying)✔️響示值。
5) 流量儀(yí)表品種使(shi)用上受到(dao)一定限制(zhì)
在衆(zhong)多測量原(yuan)理流量儀(yi)表中，因各(ge)種原因小(xiao)流量🧑🏾‍🤝‍🧑🏼應用(yong)受☂️到🐕一些(xiē)限制，當前(qian)能應用于(yú)小流量的(de)品種如表(biǎo)格所示